噴涂膠機

簡要描述：在噴涂法中，噴嘴將要涂抹的溶液噴在晶圓上。經(jīng)過優(yōu)化后的晶圓上方噴嘴移動路徑可以實現(xiàn)在襯底上均勻的涂層。噴涂所用的液體通常粘度極低，以確保形成細小的液滴

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詳細介紹

1.產(chǎn)品介紹：

AS8適用于崎嶇表面的手動噴霧涂膠機,AS8涂膠機可以滿足實驗室和試產(chǎn)環(huán)境下常用工藝的需要，對于起伏臺階幾微米到600微米以上的三維微結(jié)構(gòu)加工，都是理想的工具。SUSS AS8涂膠機也可用于生產(chǎn)環(huán)境。

2.產(chǎn)品優(yōu)勢：

跨越大起伏形貌的圖案化賦能技術(shù)

頂部邊緣覆蓋的保形涂膠，且能避免溝槽中堆膠。

噴霧設(shè)計，可實現(xiàn)工藝穩(wěn)定性與重復(fù)性的優(yōu)化

基板尺寸最大直徑為200 mm，方形基板最大邊長為 6"

最多可有2個獨立的噴霧噴膠系統(tǒng)，以避免交叉污染

帶有MMC控制器軟件的觸摸屏

全部工藝參數(shù)可在工藝菜單中編程

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