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簡要描述：Sitara TA230A 12英寸單片快速熱退火系統(tǒng)，適用于 260-1200℃快速熱處理工藝。
產(chǎn)品型號：Sitara TA230A廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時間：2025-06-05訪 問 量： 609產(chǎn)品分類
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1. 產(chǎn)品概述
Sitara TA230A 12英寸單片快速熱退火系統(tǒng)，適用于 260-1200℃快速熱處理工藝。
2. 設備用途/原理
Sitara TA230A 12英寸單片快速熱退火系統(tǒng)，適用于 260-1200℃快速熱處理工藝，高精度溫度控制，提供優(yōu)異工藝，低成本，高產(chǎn)能。
3. 設備特點
晶圓尺寸 12 英寸，適用工藝 快速熱退火、快速熱氧化、金屬硅化。適用域 科研、集成電路。此外，12英寸單片快速熱退火系統(tǒng)的應用還涉及到泛半導體實驗線、中試線、生產(chǎn)線裝備及工藝和廠務技術(shù)服務等領(lǐng)域，展示了其在半導體制造中的重要角色。這種系統(tǒng)的發(fā)展和應用，對于推動半導體技術(shù)的進步和促進相關(guān)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展具有重要意義。?
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