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紫外線臭氧清洗機(jī)

簡要描述：UV-300H是一款高性能的緊湊型紫外線臭氧清洗機(jī)。通過滑動抽屜將基材裝入系統(tǒng)中。紫外線照射、高濃度臭氧和階段性加熱的組合，可溫和而有效地去除硅、玻璃、化合物半導(dǎo)體（GaN、SiC、GaAs、InP）、藍(lán)寶石、陶瓷等各種基材上的有機(jī)物。

  • 產(chǎn)品型號：UV-300H
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 更新時間：2024-09-06
  • 訪  問  量： 404

詳細(xì)介紹

紫外線臭氧清洗機(jī) UV-300 200 - 300 nm/min的高灰化率。

概要

UV-300H是一款高性能的緊湊型紫外線臭氧清洗機(jī)。通過滑動抽屜將基材裝入系統(tǒng)中。紫外線照射、高濃度臭氧和階段性加熱的組合，可溫和而有效地去除硅、玻璃、化合物半導(dǎo)體（GaN、SiC、GaAs、InP）、藍(lán)寶石、陶瓷等各種基材上的有機(jī)物。

主要特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)

    • 大加工尺寸為?300mm（?12英寸）。

    • 200 - 300 nm/min的高灰化率。

    • 加熱階段加快了清洗速度，實(shí)現(xiàn)了寬廣的工藝溫度范圍。

    • 通過調(diào)整平臺和石英擴(kuò)散板之間的間隙，可以提高基板的均勻性。

    • 緊湊，使用小的潔凈室空間

    • 簡單，在大氣壓下操作--不需要真空系統(tǒng)。

    • 柔軟、干燥的工藝不會對基材造成電損傷。

    • 抽屜聯(lián)鎖保證了當(dāng)抽屜打開時系統(tǒng)無法工作。

    • 內(nèi)置臭氧催化劑裝置，可將廢氣中的臭氧濃度降低到安全水平。

應(yīng)用

  • 塑料包裝和引線框架的表面清潔。

  • 復(fù)合半導(dǎo)體(GaN、SiC、GaAs和InP)的表面清洗。

  • 表面改性（潤濕性和附著力的改善

  • 表面氧化(薄氧化層沉積)

  • 光阻劑的灰化、剝離和除塵。

  • 清除有機(jī)污染物

  • 紫外線固化






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