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批量晶圓處理等離子系統(tǒng)

簡要描述:批量晶圓處理等離子系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計,其模塊化控制系統(tǒng)使用最新一代處理器,基于 Linux 平臺作為操作系統(tǒng),以及圖形用戶界面 (GUI)。因此,可支持手動和全自動控制過程,并且通過 MFC 控制過程氣體。在此過程中,所有參數(shù)都被寫入程序并存儲在數(shù)據(jù)庫中。與此同時,當前的壓力值、氣體流量值、輸出值等都顯示在顯示屏上,如果當前值偏離設(shè)定值,則會觸發(fā)相應(yīng)的警報。

  • 產(chǎn)品型號:GIGAbatch
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-09-05
  • 訪  問  量: 391

詳細介紹

1. GIGAbatch 310M等離子系統(tǒng):

GIGAbatch 310M等離子系統(tǒng) 是 GIGAbatch 產(chǎn)品系列中的入門型號。作為小的系統(tǒng),GIGAbatch 310M具有較高的性價比,憑借先進的等離子技術(shù)以及經(jīng)濟實惠等優(yōu)點,它是實驗室和大學的理想之選。然而,即使是基礎(chǔ)版本,它也可用于使用 MFC 氣體管道和 600 W 發(fā)生器,執(zhí)行手動和自動等離子處理?;A(chǔ)版本的桌面型;為第二個氣體管道提供空間。腔室多可容納 25 片直徑為 150 毫米的晶圓,可以使用石英舟批量處理,或使用帶有特殊裝載裝置進行單片處理。各種個性化配置的配件:具有特殊密封材料的配置,帶冷卻板和循環(huán)冷卻器的腔室可用于從晶圓上去除 SU-8。

 

2. GIGAbatch 360/380M等離子系統(tǒng):

GIGAbatch 360M 和 380M等離子系統(tǒng),是為滿足低要求的小批量生產(chǎn)而設(shè)計。 GIGAbatch 360M版本有一個直徑為 245 mm的工藝室,多可容納 50 片直徑為 150 mm的晶圓。而GIGAbatch 380M版本的腔室內(nèi)徑為 300 mm,多可容納 25 片直徑為 200 mm 的晶圓。該系統(tǒng)的基礎(chǔ)版本是一款落地式設(shè)備,帶有噴涂面板、可調(diào)節(jié)支腳和腳輪。它配有一個輸出功率為 1000 W 的發(fā)生器、兩個 MFC 氣體管道、晶圓溫度監(jiān)控和一個終點偵測系統(tǒng)。此外,它還包括一個固定晶圓和基板的裝置,可安裝在腔體室內(nèi)門上,并可根據(jù)客戶具體要求進行設(shè)計。也可按客戶需求提供:過程壓力 (DSC) 的主動控制裝置、法拉第籠、額外的氣體管道、不同尺寸基板或晶圓的裝載裝置、陶瓷工藝室、使用含氟工藝氣體運行的特殊密封件。













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