當前位置:首頁 > 產(chǎn)品中心 > 半導體可靠性測試設備 > 可靠性測試設備 > SAM全自動全自動超聲波掃描顯微鏡
簡要描述:PVA TePla SAM 全自動系列的全自動超聲波掃描顯微鏡能夠無損檢測空洞、空隙、氣泡、夾雜物和分層,是圓檢測、焊接界面檢查、MEMS檢測、以及各類電子封裝檢測的理想選擇。該系列配有自動缺陷檢測軟件包,可對各種缺陷類型進行全自動化評估,檢測結(jié)果可以以klarf文件和VEGA MAP的形式發(fā)布,同時支持鏈接GEM/SECS。根據(jù)所需分析樣品,可以選擇不同掃描儀配置,如:4×1、4×2或4×4。
產(chǎn)品分類
Product Category相關(guān)文章
Related Articles詳細介紹
SAM Autotray 系列:SAM Auto Tray是專門為電子器件、電路板、IGBT和其他復雜部件的生產(chǎn)控制而開發(fā)的產(chǎn)品系列。該系統(tǒng)符合10級潔凈室標準,主要應用包括驗證缺陷,如:縫隙、氣泡、孔洞、夾雜物、脫層區(qū)域、焊接或銀燒結(jié)界面的厚度變化等,支持同時檢查多個界面。
SAM Autowafer 系列:SAM 300 AutoWafer系列是專門為內(nèi)聯(lián)生產(chǎn)控制而開發(fā)的產(chǎn)品系列,符合100/1000級無塵室標準,該系統(tǒng)專為檢測晶圓界面、晶圓鍵合、 MEMS 產(chǎn)品、或者混合粘合應用而設計,可用于檢測空洞、夾雜物或分層或微空隙。多傳感器配置可使得晶圓檢測通過率高。
SAM 大視場掃描系統(tǒng):SAM大視場系列是專門為分析DCB’s或電源模塊而開發(fā)的產(chǎn)品系列,可支持檢測掃描范圍為300µm x 300µm到1300mm x 1300mm。多至8個傳感器可實現(xiàn)超高檢測通過率。該系統(tǒng)包括自動缺陷審查軟件、GEM/SECS通訊,以及MES通訊。激光打標站和分類輸出端口可供選擇。
產(chǎn)品咨詢