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Compact 21MBE分子束外延系統(tǒng)
Genesis ALD原子層沉積儀器ALD
ACS200 Gen3涂膠和顯影機
Cheetah EVO微焦點X射線檢查系統(tǒng)
ACS300 Gen2涂膠與顯影機
CA20檢測系統(tǒng)
Seehund® A 系列氣相分解金屬沾污收集（VPD）設備
Shale® A 系列8英寸等離子體增強化學氣相沉積設備
Shale® C 系列8英寸電感耦合等離子體化學氣相沉積設備
Haasrode® Avior® A電容耦合等離子體刻蝕（CCP）設備
Pishow® D 系列8英寸電感耦合等離子體-深硅刻蝕設備
Pishow® A 系列8英寸電感耦合等離子體刻蝕設備
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