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LEBO science的PT500真空等離子清洗機(jī),作為Plasma Treatment Equipment,具備以下顯著特點(diǎn): 設(shè)備小巧,操作便捷:采用一鍵式操控設(shè)計(jì),便于在科研院所等實(shí)驗(yàn)環(huán)境中靈活使用。 環(huán)保無(wú)污染:使用過(guò)程中無(wú)環(huán)境污染,無(wú)需化學(xué)品消耗,且機(jī)臺(tái)本身不產(chǎn)生任何污染物。 高效清洗能力:能夠迅速達(dá)成所需的表面親水性,提升處理效率。 廣泛適用性與無(wú)損處理:應(yīng)用廣泛,對(duì)處理產(chǎn)品無(wú)損傷
通用晶圓鍵合平臺(tái)設(shè)計(jì)用于(混合)熱鍵合對(duì)準(zhǔn)的200mm和300mm晶圓。 其高度模塊化的設(shè)計(jì)便于客戶(hù)以低擁有成本來(lái)實(shí)現(xiàn)極大的配置靈活性。 提供多種配置,可滿足研發(fā)和大批量生產(chǎn)(HVM)環(huán)境的需求。 新型XBS300混合鍵合平臺(tái)可用于在諸如3D堆棧存儲(chǔ)器或3D SOC(片上系統(tǒng))等要求極其嚴(yán)苛的應(yīng)用中混合鍵合聚集D2W(芯片到晶圓)和W2W(晶圓到晶圓)。
PlasmaPro 800系列是結(jié)構(gòu)緊湊、且使用方便的直開(kāi)式系統(tǒng),該系統(tǒng)為大批量晶圓和300mm晶圓上的反應(yīng)離子蝕刻(RIE)工藝提供了靈活的解決方案。大尺寸的晶圓平臺(tái)能夠處理量產(chǎn)級(jí)別的批量以及300mm晶圓的工藝。
新型的 XBC300 Gen2 D2W/W2W晶圓鍵合機(jī) 是將所有現(xiàn)有混合鍵合工藝集成到單一設(shè)備中的平臺(tái): W2W、集體 D2W 和順序 D2W。這是蘇斯微技術(shù)公司與高精度倒裝芯片鍵合機(jī)供應(yīng)商 SET Corporation SA 合作開(kāi)發(fā)的成果。
EvoVac PVD 平臺(tái)可以做任何您需要的事情。它有一個(gè)大腔室,可以配備您需要的任何源或工藝增強(qiáng)。EvoVac 物理氣相沉積平臺(tái)是我們具有可定制性的單腔室平臺(tái),因此它可以配備用于特定應(yīng)用的工具,也可以成為適合您實(shí)驗(yàn)室中各種用戶(hù)的多功能多源沉積主力。