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RIE-10NRRIE等離子刻蝕設(shè)備
RIE-230iP等離子體（ICP）刻蝕設(shè)備
RIE-230iPC等離子體（ICP） 刻蝕設(shè)備
RIE-400iP等離子體（ICP）刻蝕設(shè)備
RIE-350iPC等離子體（ICP）刻蝕設(shè)備
RIE-800iPC等離子體刻蝕設(shè)備
RIE-400iPB深硅刻蝕設(shè)備
RIE-800iPB電感耦合等離子體刻蝕設(shè)備
RIE-800BCT深硅刻蝕設(shè)備
RIE-802BCT深硅刻蝕設(shè)備
PD-100ST等離子體增強CVD系統(tǒng)
PD-330STC等離子體增強CVD系統(tǒng)
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