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卷繞式濺射設備SPW系列 SPW系列設備，是可在塑料薄膜上進行光學膜、金屬膜等多層成膜的卷繞式設備。實施成膜室間的氣氛分隔，可以使高性能的多層膜一次性成膜。

有機EL成膜設備SOLCIET, SATELLA, ZELDA系列。ULVAC面向有機EL材料開發(fā)提供實驗用設備系統(tǒng)到量產Cluster系統(tǒng)設備和Inline系統(tǒng)設備。

iTops PVD ITO 濺射系統(tǒng)，加熱能力、精確的溫度控制、優(yōu)異的真空能力.高晶體質量的氮化鋁薄膜及優(yōu)異的薄膜厚度均勻性。

Polaris系列8英寸 通用物理氣相沉積系統(tǒng)，多種材料膜層工藝能力，低損傷，高深寬比填充能力。

eVictor Al PVD 鋁物理氣相沉積系統(tǒng)，優(yōu)良的磁控濺射系統(tǒng)，有效提高薄膜均勻性及靶材利用率。

eVictor系列 8英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng)，加熱基座設計，具備良好的溫度均勻性，高溫厚鋁工藝連續(xù)作業(yè)無累溫。