歡迎來到深圳市矢量科學儀器有限公司網(wǎng)站！歡迎來到深圳市矢量科學儀器有限公司網(wǎng)站！
當前位置：首頁 > 產(chǎn)品中心 > 半導體前道工藝設(shè)備 > 4 外延系統(tǒng)
產(chǎn)品分類
Product Category相關(guān)文章
Related Articles
SES系列 8英寸多片硅外延系統(tǒng)為單腔多片式硅外延設(shè)備，適用于4、5、6、8英寸的硅外延工藝。SES系列反應(yīng)腔室采用多片平板式的結(jié)構(gòu)，配合感應(yīng)加熱的方式實現(xiàn)高質(zhì)量的外延薄膜生長，適用于厚度5-150µm范圍的外延工藝，精確可調(diào)N型、P型摻雜。該設(shè)備智能化人機交互設(shè)計與高效的安全互鎖保障了系統(tǒng)安全和穩(wěn)定。
更新時間：2025-06-05
型號：SES系列
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
瀏覽量：747
刻蝕機終點檢測系統(tǒng) 檢測原理：通過特定波長譜線的強度變化來反映是否達到刻蝕終點。
更新時間：2025-06-05型號：customized廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商瀏覽量：2157
網(wǎng)站首頁